北京大学&coventor 微米纳米加工技术研修班成功举办

2024年8月2日至8月4日，第一期微米纳米加工技术研修班成功举办，本期研修班由北京大学集成电路学院和微米纳米加工技术全国重点实验室主办，北京大学集成电路产教融合创新平台、北京市集成电路高精尖中心协办，Coventor武汉恩硕科技有限公司赞助和支持。共有来自超过50个单位的120余名学员参与到学习与交流中，学员中包括北京中电科电子装备有限公司、赛微电子股份有限公司、启元实验室、航天长征火箭技术有限公司、河北美泰电子科技有限公司等数十家企业单位成员，以及来自北京大学、清华大学、华中科技大学、中国科学院大学、南京大学等众多高校师生前来参加。

微米纳米加工技术研修班以专家授课和参观见学的方式，帮助学员全面了解微米纳米加工技术基础理论与前沿研究，旨在为业内专业人员提供更多学习和交流机会，搭建起高校和产业间的桥梁。

开幕式

北京大学集成电路学院副院长、微米纳米加工技术全国重点实验室主任王玮教授致开幕词。王玮对参与本次研修班的学员表示欢迎，并向在场学员介绍了微米纳米加工技术全国重点实验室的发展沿革及其先进技术与加工能力。

前沿论坛

前沿论坛荣幸地邀请到上海交通大学的刘景全教授、中国科学院上海微系统与信息技术研究所的欧欣研究员、电子科技大学的王曾晖教授（朱健凯代讲）为学员带来微米纳米加工技术前沿研究成果的分享

专家授课

研修班上，来自北京大学集成电路学院的教师以及武汉恩硕科技有限公司（MEMS专业软件conventor）专家为学员们全面深入讲解微米纳米加工技术的系列课程，包括微纳机电系统概述、微机电系统设计、微米纳米加工工艺、集成电路设计等，全面系统的讲解了微米纳米加工技术相关的理论基础、前沿研究方向及最新成果、行业动态以及未来挑战，帮助学员们建立了系统的知识框架，凸显了微米纳米加工技术在智能传感器、先进制造、医疗器械和纳米材料等多个领域的广泛应用，激发了学员们的学习兴趣与热情，并在课后与学员积极互动、答疑解惑。

工艺实验室参观

微电子工艺实验室参观见学是本次研修班的特色环节。见学过程由张大成教授和崔健高级工程师讲授，从实验室的核心建设理念以及实验室的加工能力方面进行了深入讲解，让学员了解超净工艺平台建设的重点、难点，并分享北京大学集成电路学院多年的工艺积累。此环节收获了学员们的高度认可。

结语

本次研修班充分展示了北京大学在微米纳米加工技术领域的教育与科研实力以及为该领域培养专业技术人才的社会责任感，为有志于从事相关研究的学生以及投身相关产业的青年科技工作者提供了优质的学习平台。

恩硕科技作为COVENTOR中国区唯一的代理商很荣幸支持参与了本次研讨会。

Coventor MEMS+软件：

1. MEMS+建模设计开始于制造技术的参数化定义，包括沉积工艺和材料属性。

2. MEMS+也包括一个参数化的MEMS元件库：rigid shapes、flexible mechanical shapes、electrodes以及electrostatic combs等。其中，rigid shapes可以从GDS2 layout导入。设计者首先选择元件库中的元件，然后在Innovator 3D用户界面中组装MEMS器件。以上所有均可通过MATLAB或Python编程实现。

CoventorWare软件：

1. 具有二维版图编辑功能，能够导入导出GDS版图文件，支持true curve（包括circles, arcs, splines）；

2. 具备工艺编辑功能，包含代工厂提供的标准工艺：DALSA、IMEPKU、MEMSCAP MetalMUMPs/PolyMUMPs/SOIMUMPs、Imec SiGeMEMS、SINTEF MoveMEMS PZT、Tronics 60um SOI-HARM、NNFC；

3. 由二维版图和工艺流程直接生成三维实体模型。CoventorWare这种工艺、版图驱动的设计输入方式与实际的MEMS传感器设计研发流程一致，体现了该软件的专用性。成都凯天电子股份有限公司研制的高温压力传感器项目为典型的MEMS压力传感器，采用CoventorWare建模可以直观看到二维版图及工艺流程与实际三维实体模型的关系，方便找到设计过程中的问题。比如高温压力传感器背腔湿法腐蚀倾角与质量块拓扑结构的关系，可通过CoventorWare建模直观体现出来。版图编辑器LayoutEditor支持导入GDS版图，也可以直接绘制二维版图并输出GDS文件，该版图经过CoventorWare仿真验证后可直接Tape out给代工厂进入流片环节。前处理方面，CoventorWare支持多种网格类型，生成的网格鲁棒性高、质量优。