陀螺仪

SOLUTION

MEMS陀螺仪设计

MEMS陀螺仪是一类重要的惯性传感器，广泛应用于各种消费设备，包括智能手机、相机和导航系统。陀螺仪在汽车上的应用非常广泛，对可靠性要求很高。此外，工业和国防市场要求高水平的精度，这从根本上影响陀螺仪的设计参数。

MEMS陀螺仪设计的挑战

从概念设计到优化和性能增强，CoventorMP®可以模拟与成功的MEMS陀螺仪设计相关的广泛关键问题。

支持解决的问题：

• 概念研究证明、探索不同的设备配置、模态频率和驱动/传感物理(静电/压电)

• 静电模式软化、调整和匹配驱动和传感模式

• 拉片和滞后

• 灵敏度、带宽、线性加速度效应

• 正交、由于悬挂侧壁角度和梳状悬浮力

• 静电补偿电极、降低求积

• 过载触点止动器设计、提高抗冲击性能和可靠性

• 气体阻尼、热弹性阻尼和锚损，预测Q因子

• 对温度的响应，包括包装变形的影响

• 磁道、焊盘和封装的寄生电容

电路和系统模拟器联合仿真ROMs

围绕陀螺仪构建的电路和系统具有它们自己的设计周期，并且通常包括陀螺仪模型。为了解决这一需求，CoventorMP生成了多物理ROM(降阶模型)，捕捉陀螺仪的惯性非线性。这些模型是自动生成的，不需要手动构建过程，这可能需要多次迭代和数周的设计工作。多物理rom为速度进行了优化，允许快速设计迭代。CoventorMP模型提供了一种VerilogA格式,或作为一个函数运行Mathworks仿真软件®。

任何MEMS器件的重要考虑，是热稳定性和器件对封装变形的鲁棒性。陀螺仪也不例外。CoventorMP允许包模型容易耦合到陀螺仪模型，然后可以完成参数分析，以确定陀螺仪在温度下的响应，允许设计师产生速率偏移的预测模型。导出的ROMs中也包含了Package-Induced的性能。

CoventorMP使设计人员能够模拟MEMS陀螺仪特有的关键问题，从模式频率设计到静电弹簧软化、侧壁角引起的求积误差以及与封装的联合仿真。自动ROM导出允许用户立即生成可移植的、快速的用于电路和系统设计环境的模型，包括Verilog-A格式和Mathworks SIMULINK®