成功的PDK应用案例

Coventor软件作为MEMS自动化设计的领导者，服务于大多数全球领先的MEMS厂商和晶圆代工厂，其中不乏成功的PDK应用案例。除了上面提到的XFAB加速度计，以下分别以CEA Leti 、Dalsa合作的PDK为例，展示Coventor MPDK在晶圆代工厂中的应用。

CEA Leti M&NEMS platform

CEA Leti采用先进多功能技术和创新理念，在Coventor软件平台上设计小型加速度计、陀螺仪、磁强计和压力传感器。

图1 PDK搭建加速度计

如图，他们利用MEMS+组件库中的元件搭建M&NEMS加速度计，包括固定点、叉指、质量块、弹簧等部件。此外，在他们自定义的NEMS测量计子结构中，是包括压阻和机械部分，并且该子结构的有效性是通过FEA和试验进行验证过，可以进行参数化和设计复用的定制组件。

图2 PDK中定制组件

下面显示的是通过MPDK搭建的加速度计性能参数仿真，包括在驱动电压下电导和y向位移关系，在重力作用下y向位移的曲线。

图3 加速度计性能仿真

同时，对Coventor预测的性能和试验测试数据对比中可以看到，从图中可以看出Coventor软件的仿真结果与实测结果有较好的拟合。

图4 仿真与试验对比

Dalsa Teledyne MIDIS

MEMS Integrated Design for Inertial Sensors (MIDIS)平台旨在提供制造加速度计和陀螺仪的标准流程，并将其集成到惯性测量单元（IMU）中，用于消费（移动）、汽车、航空航天和体育/健康市场等应用领域

MIDIS PDK提供了一套完整的设计规则和技术描述，MEMS设计者可以从中生成传感器的完整三维模型。所有MIDIS晶圆上的过程控制监视器（PCM）结构包括一个谐振器，该谐振器被测试为每个制造的晶圆提供独立的设计性能数据。该谐振器结构也包含在PDK中，以提供一个简单但具有代表性的示例，设计者可以使用该示例来校准其模拟环境。

图5 Dalsa Teledyne PDK

Coventor软件与领先MEMS厂商长期保持合作，数以千计的成功的产品依托Coventor平台被开发出来。业界的不断验证，经验的不断积累使Coventor软件功能更加强大，使仿真结果真正值得信赖。