学习 MEMS 设计的最佳和最快方法

在2003年，Benedetto Vigna曾说过，成功的MEMS设计的关键在于“拥有‘类似达芬奇’的MEMS工程师的横向思维……他们在技术流程、材料科学、机械和电子设计以及强大的物理背景方面具有广泛的技能和知识。”[1]那对于我们这些不是“类似达芬奇”的人来说，我们该如何学习设计MEMS器件呢？

如果你刚刚开始学习，那么MEMS设计的经典参考书是Stephen Senturia的《Microsystem Design》[2]。这本书介绍了MEMS和MEMS设计，讨论了微制造，以及MEMS、电路和系统级设计的建模策略和物理领域考虑因素。

对于那些希望在大学环境中学习 MEMS 设计的人，美国和世界各地的几所大学都提供微纳机电系统基础知识课程。

以下是美国一些大学的名单，这些大学拥有专门研究 MEMS 和 NEMS 的研究实验室：

·加州大学伯克利分校与半导体和 MEMS 行业的主要参与者合作，拥有几个全部或部分致力于 MEMS 和 NEMS 研究的实验室，包括伯克利传感器和执行器中心 (BSAC )。加州大学伯克利分校还提供工程学硕士学位，主修 MEMS 和纳米技术。

·加州大学尔湾分校有一个微系统实验室，专门研究和开发芯片级陀螺仪和惯性测量单元 (IMU)。

·明尼苏达大学设有纳米和微系统应用中心 (NMAC)，该中心通过研究以及纳米和微系统及其应用课程提供研究生教育。

·卡内基梅隆大学有一个微机电系统实验室，从事微型传感器和执行器系统的研究。

·波士顿大学有一个MEMS 和纳米技术组和一个微系统技术实验室 (LMST)，从事 MEMS 和超材料的跨学科研究。

·麻省理工学院拥有其微系统技术实验室，从事集成电路、系统、电子和光子设备、微机电系统、生物微机电系统、分子设备、纳米技术、传感器和执行器的研究。

·马凯特大学的MEMS 和高级微系统实验室对膜传感器和执行器、相变材料、微电触点和微开关、能量收集和存储以及微电网进行研究。

对于寻求 MEMS 设计短期非学位培训的学生，这些机构提供有关 MEMS 一般原理的课程：

·高科技学院提供为期 3 天的 MEMS 基本理论入门课程。本课程回顾了 MEMS 的处理方式、MEMS 在传感器和执行器中的应用、MEMS 的使用问题以及 MEMS 组装、外壳、测试和互连技术。

·半轨公司 提供为期两天的 MEMS 技术概述，涵盖设计、制造、封装、可靠性、仿真和测试。

·技术、管理和应用工程协会 (ATMAE) 提供MEMS 基础认证 (MFC) 计划，涵盖与微系统制造中涉及的背景、理论和技能相关的主题，包括致动器、换能器和传感器的介绍.

Coventor提供使用Coventor MP ^®进行 MEMS 设计的软件和培训，其CoventorMP软件平台为MEMS设计提供了一个统一的环境，从完全参数化的设计输入到可以在所有抽象层次上进行仿真的功能模型的生产。

在一个界面中，用户可以构建 MEMS 设备并分配材料、机械和电气属性。用户还可以使用一组内置的物理模型轻松地模拟设备行为。您甚至可以查看 MEMS 设备在其更大的电路或系统中的行为，以模拟最终成品的行为。

该软件包括演示如何设计和仿真加速度计、陀螺仪、压力传感器、麦克风、执行器、微镜、微测辐射热计、开关、谐振器等的示例和教程。

使用 CoventorMP 的 MEMS 产品设计

Coventor 还为其客户提供特定于设计的培训和支持，并且 CoventorMP被许多世界领先的大学课程用作教学工具。Coventor MP让任何人都能比以往更轻松地学习 MEMS 设计并快速测试他们的新设计理念。

借助当今可用的学术研究、培训和软件工具，以前设计 MEMS 所需的“类 Leonardo”多学科能力现在已经触手可及，任何想成为 MEMS 设计师的人都可以做到。

参考：

 公司：恩硕科技

 网站：http://coventor.cn

 邮箱：lzb@aonesoft.com.cn

 电话：027-82750922