三轴陀螺仪实例|MEMS陀螺仪业界验证

Coventor软件作为MEMS自动化设计的领导者，服务于大多数全球领先的MEMS厂商，其中不乏成功的微陀螺仪案例。以下以Murata Electronics Oy公司的一款商用三轴陀螺仪产品为例，展示Coventor软件仿真结果与实际测试结果的匹配程度。

图1显示该三轴陀螺仪产品SEM图与Coventor软件MEMS+创建的Compact模型对比。

图1 MEMS+模型与产品SEM图

下图显示该陀螺仪非线性静电弹簧软化效应的仿真结果与实际测试结果的对比，从图中可以看出两者匹配度较高。

图2 “Electrostatic spring softening”效应仿真与测试对比

下图显示该陀螺仪非线性Pull-in及Pull-out效应的仿真结果与实际测试结果的对比，从图中可以看出Coventor软件的仿真结果与实测结果有较好的拟合。

图3 “Pull-in&Pull-out”效应仿真与测试对比

Coventor软件与领先MEMS厂商长期保持合作，数以千计的成功的产品依托Coventor平台被开发出来。业界的不断验证，经验的不断积累使Coventor软件功能更加强大，使仿真结果真正值得信赖。