MEMS技术应用于车载雷达

要了解MEMS扫描微镜（也叫MEMS振镜或扫描芯片）在车载激光雷达中的应用，还要从应用比较广泛的激光扫描投影MEMS微镜说起。MEMS微镜是一个硅结构的微型机械装置，采用光学MEMS技术制造，是将微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。

MEMS微镜采用平动和扭转（x、y两个方向）两种机械运动方式进行扫描，可以实现非常高的扫描频率。现在用于激光扫描投影的MEMS芯片扫描频率可以达到40kHz，相当于一秒钟扫描4万次。

采用MEMS微镜的激光应用涵盖消费电子、医疗、军事国防、通信等领域，具体包括激光扫描、光通信、数字显示、激光雷达、3D摄像头、条形码扫描、激光打印机、光开关、激光微投影、汽车抬头显示（HUD）、激光键盘、增强现实（AR）等。

由于车载应用需要较大的MEMS镜面，镜面厚度也需要相应增加，导致微镜扫描时的质量增加，降低了MEMS振镜抗振动和冲击的能力，甚至出现转轴断裂的情况。如果采用新型电磁驱动就可以使微镜更大、更结实。

通过不断改进，采用专利封装技术的“下磁铁-扫描微镜-上磁铁”的“垂直三明治”封装结构，相比侧边磁铁结构，作用在驱动线圈上的磁感应强度提高了8倍。在达到相同转角情况下，微镜有更大的驱动力矩T，能够驱动的扫描轴更厚更宽，器件扫描频率可以更高，器件抗振动冲击能力也更好。这样，就为汽车应用提供了稳固的基础。