MEMS陀螺仪自动化设计的领导者

Coventor软件作为MEMS自动化设计的领导者，为全球大多数顶尖的MEMS厂商提供服务，其中不乏成功的微陀螺仪案例。以下以Murata Electronics Oy公司的一款商用三轴陀螺仪产品为例，展示了Coventor软件仿真结果与实际测试结果的高度一致性。

图1显示该三轴陀螺仪产品SEM图与Coventor软件MEMS+创建的Compact模型对比。

图1 MEMS+模型与产品SEM图

下图显示该陀螺仪非线性静电弹簧软化效应的仿真结果与实际测试结果的对比，从图中可以看出两者匹配度较高。

图1 “Electrostatic spring softening”效应仿真与测试对比

下图显示该陀螺仪非线性Pull-in及Pull-out效应的仿真结果与实际测试结果的对比，从图中可以看出Coventor软件的仿真结果与实测结果有较好的拟合。

图1 “Pull-in&Pull-out”效应仿真与测试对比

Coventor软件不仅在功能上不断提升，还在精确度和可靠性方面达到了行业领先水平。其强大的仿真能力使得工程师们能够在设计初期就预见并解决潜在问题，从而加快产品开发周期，降低研发成本。正因为如此，Coventor软件成为了全球MEMS厂商的首选工具，在推动MEMS技术进步和创新方面发挥了关键作用。