Lamé-Mode谐振器及滤波器

Lamé-Mode谐振器及滤波器凭借其高精度和高稳定性的特性，在现代电子和通信技术中发挥着重要作用。而仿真软件作为设计和优化的重要工具，通过提供虚拟测试环境、降低成本、加速迭代和精确分析，显著提升了器件的开发效率和性能可靠性。因此，合理利用仿真软件，是成功开发高性能Lamé-Mode谐振器及滤波器的关键。

以下是使用Coventor得到的谐振器仿真结果

图1 Lamé-Mode谐振器及在MEMS+中的模型

图2 MEMS+仿真得到谐振器的模态和频响曲线

图3 由Lamé-Mode谐振器单元组成的滤波器

通过在MEMS+中扫描梁的尺寸可以设计出满足要求的带通滤波器，仿真结果见下图：

图4 带通滤波器通带响应曲线