第十六届MEMS技术国际研讨会 - 共探传感器未来

11月14日，上海市长宁区龙之梦大酒店成为了传感器与MEMS（微机电系统）领域的盛会现场。由上海市科学技术协会、上海市长宁区人民政府等多家机构指导，围绕“研产融合、创新应用”的主题，第十六届传感器与MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展）在这里隆重召开。

大会第一天，由中国科学院上海微系统与信息技术研究所的李昕欣教授主持，副区长赵永尊代表长宁区人民政府致欢迎词，强调了长宁区在科技创新上的布局。同时，长宁区投资促进办公室三级调研员周蔚然对长宁区的营商环境和“数字长宁”战略进行了详细介绍。 

会上，由上海新微企业管理有限公司等四家企业共同主持的“上海硅巷”高质量孵化器运营主体发布仪式成为了焦点。该项目不仅被列入上海市政府2024年工作报告，还将被纳入长宁区委常委会一号课题。这标志着“上海硅巷”将进一步发挥其作为中科院创新平台的优势，推动长宁区科学技术的整体生态建设，为上海建设国际科创中心提供新典范。

赛迪顾问副总裁李珂博士在会议上分享了全球和中国MEMS传感器市场的现状与未来展望。统计数据显示，传感器市场持续增长，智能传感器市场增长更是突出。特别是中国的传感器技术和市场规模在国家政策支持和物联网发展的背景下，正迎来黄金期。

北京赛微电子的杨云春董事长介绍了公司在全球化运营中领先的特色工艺制造能力，以及其在DNA测序、光刻机等多个领域的应用。同时，赛微电子正构建其全方位的制造服务能力，为客户提供从工艺开发到封装测试的整体解决方案。

上海工研院总经理董业民分享了关于打造“超越摩尔”功能型平台的思路，强调了研发与产业化的紧密结合，促进科技与产业的互动发展，诚邀各界参与共同建设产业生态。

从新技术发展趋势、制造工艺到应用市场，数十位来自学术界、业界的顶尖专家和企业代表做了深入讲解。通过他们对MEMS技术的最新研究、创新成果和应用案例的分享，与会人员获得了最前沿的行业动态。

第十六届传感器与MEMS产业化技术国际研讨会不仅是一个专业交流的平台，更是推动行业发展的风向标。通过这场会议，业内各方得以共聚一堂，分享知识、交流经验，共同探索传感器技术未来的无穷可能，为中国乃至全球的MEMS产业贡献了宝贵的智慧。随着MEMS技术的不断进步，我们有理由相信，智能传感器将成为未来生活的重要组成部分，推动各行各业实现智能化转型。

在此次会议中，Coventor的中国区唯一代理商恩硕科技也参加了此次大会。Coventor专注于MEMS领域的仿真技术和设计软件，已经与众多顶级半导体厂商建立了良好的合作关系。Coventor在全球MEMS设计软件市场的份额超过80%，其软件被众多行业领军企业和研究机构认可，成为MEMS设计领域的重要工具。

Coventor包括CoventorWare和MEMS+，MEMS+是一个针对MEMS及MEMS+IC设计、仿真、产品开发为一体的集成平台。MEMS器件通常包括MEMS传感或执行及IC。但是在传统的MEMS设计中，MEMS设计与IC设计流程之间是断开的，这导致了冗长的研发周期，高成本，低的设计重利用率。

MEMS+使MEMS设计者在一个3D的图形用户界面中组装MEMS器件的行为模型，然后在MEMS+ Simulator中进行仿真，或者进入系统设计流程：与MATLAB及Simulink系统仿真；或者进入IC设计流程：与Cadence Virtuoso协同仿真。MEMS设计者可以轻易的将MEMS+行为模型交接给系统设计者或者IC设计者，从而帮助他们完成系统级的设计或者implementation-level的仿真。

CoventorWare包括CoventorWare Turbo模块和MEMS Extended Analysis功能增强模块。CoventorWare Turbo模块由两个套件组成：Designer和Analyzer。Designer是创建MEMS器件工艺流程、MEMS器件版图、三维实体模型以及三维网格划分的强大设计工具，包含材料属性编辑器、工艺制程编辑器、二维版图编辑器、三维实体模型生成器、三维模型处理器和网格划分引擎、封装库、Foundry设计套件库等。

MEMS Extended Analysis模块主要针对MEMS中常见的几种物理效应定制的专业分析功能，其包括MemDamping、MemPZE和MemPZR三个模块，利用相应的场求解器对气体阻尼、压电效应、压阻效应进行分析。

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