解决方案
SOLUTION
微纳谐振器模态耦合系数的形状优化方法及其在MEMS陀螺仪中的应用
微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS）谐振器通常以高品质因数在大振幅下工作，并具有各种非线性模态耦合的高模态密度，因此可以表现出丰富的非线性动力学行为。这些效应受内部谐振条件以及模态耦合系数强...
高精度MEMS陀螺仪振动抑制十大核心技术突破
MEMS陀螺仪作为惯性导航的核心传感器，其性能受封装过程引发的振动干扰影响显著。本文从封装技术创新角度，系统性梳理十大关键解决方案：一、材料与结构创新方案一：低应力封装材料 采用硅铝碳化物（Si-Al...
超低谐振频率MEMS 具有非谐振的重力计闭环控制--系统设计
所提出的系统的框图如图1所示。这个原型重力仪是为了检测水平方向上的重力加速度而设计的，同时也可以用作倾角传感器。如图1所示，采用了两个闭环控制系统。每个闭环控制的作用如下所述。图1.系统框图。驱动力施...
一文读懂共振频率调整的概念
首先，我们解释了通过电调刚度来实现共振频率调谐的概念和结构。在具有质量m和刚度k的弹簧-质量系统中，共振频率由公式给出。为了实现质量m的小，刚度k必须非常小。我们通过如图1和图2所示的正机械刚度kM和...
模拟静电驱动RF开关-ANALYZER
使用此最高级的3D场解算器的综合套件，可以分析、理解和验证任何基于MEMS或微流体设计的物理行为，优化MEMS特定的耦合物理条件。使用CoventorWare的FEA,BEM和VOF分析工具，对器件的...
模拟静电驱动RF开关
DESIGNER™定义工艺过程，在MEMS版图编辑器中绘制布局版图，并自动生成和可视化三维实体模型，以输入结算器中。应用各种各样的制造工艺来构建MEMS。制造工艺连同2D布局，一起定义和约束器件设计。...
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