MEMS产品设计数字化实现环境适应性

MEMS产品设计中使用统计模型可以评估环境变化对产品性能的影响,这体现了新产品开发理念。工艺参数的统计特性可以包含在MEMS的设计工具包中。这为评估环境变化对产品的影响提供必要信息,实现产品研发的数字化与优化。

CoventorMP对Cadence Spectre仿真器的Monte Carlo仿真支持

采用设计工具包中的信息,可以进行蒙特卡罗仿真,预测产品在不同工艺条件下的功能性能变化,为产品设计提供重要参考,确保产品质量,提高产量,增强产品设计的环境适应性。通过虚拟再现相变存储器测试场来测量梁的吸附电压,作为每片晶圆制造过程质量的一个功能指标,可证明在MEMS设计中使用统计模型的优点。
此方法可以验证参数统计模型和仿真方法的准确性。如果较准确,则仿真技术的应用范围可以扩大,实现“试制前仿真”，简化设计流程,避免重复试验,提高效率。从而增强产品设计的环境适应性,为产品的成功提供支持。

在CoventorMP用于Cadence Spectre仿真器的模型中实现参数的统计变化

调整现有测量条件是验证仿真结果与实测统计数据的先决条件，可以提高研发效率,缩短周期,降低成本。该方法可以确保稳定和现实的统计建模,这为产品功能的预测与评估奠定基础，增强产品设计的科学性与合理性。

单轴加速度计的的参数化梳状物和悬架示例

研发团队通过数字化设计工具可以实现“试制前仿真”,评估产品开发方案,优化设计,确保产品质量,这大大缩短了研发周期,降低成本,提高产品设计的环境适应性和市场竞争力。