【仿真流程及仿真能力】探索MEMS加速度计设计的利器！

COVENTOR设计平台是一款专注于MEMS加速度计的器件级和系统级仿真工具。通过CoventorWare和MEMS+两个模块，工程师们可以实现对加速度计设计的全面仿真和优化。

首先，CoventorWare是一款强大的器件级仿真软件，它可以根据MEMS工艺流程和2D版图生成3D模型，并提供完整的网格剖分工具和求解器。这些求解器结合了有限元法和边界元法，可以精准地仿真MEMS器件在机械、热、电和空气阻尼等多个物理场中的行为。借助CoventorWare，工程师们可以分析器件的机械性能、热特性、电性能以及空气阻尼等关键指标。

其次，Coventor的系统级仿真软件MEMS+与工业标准的设计工具如MATLAB和Cadence耦合，实现了MEMS设计者、IC设计者和系统布局师之间的协同开发。通过将MEMS器件模型导入到系统和CMOS流程中，工程师们可以使用Cadence和MATLAB Simulink等工具进行协同仿真，分析器件的频率响应、灵敏度、满量程、零位偏置、自检、系统稳定性和噪声等性能参数。

Coventor设计平台的加速度计设计流程如下图所示：

MEMS工艺输入：使用CoventorWare的工具，将MEMS加速度计的设计与制造工艺紧密结合。工程师们可以输入材料属性和图层信息，解决MEMS加工中的各种问题，如保角沉积、可变的侧壁倾斜角度、晶向和残余应力等。

参数化仿真：CoventorWare基于工艺技术和几何设计的仿真输入是完全参数化的，可以方便地对工艺效果和设计理念进行研究。工程师们可以通过调整参数来优化加速度计的性能。

器件级仿真：使用CoventorWare的有限元法和边界元法求解器，对加速度计进行机械、热、电和空气阻尼等多物理场耦合仿真。工程师们可以分析器件的结构响应、应力、位移等关键指标。

系统级仿真：借助Coventor的系统级仿真软件MEMS+，将MEMS器件模型导入到系统和CMOS流程中，与Cadence和MATLAB Simulink等工具进行协同仿真。工程师们可以分析加速度计的频率响应、灵敏度、满量程、零位偏置、自检、系统稳定性和噪声等性能参数。

通过Coventor设计平台，工程师们可以在器件级和系统级上对MEMS加速度计进行全面的仿真和优化，从而提高产品的性能和可靠性。