仿真案例|RF MEMS 开关仿真原理

美国Sandia国家实验室使用Coventor软件研发的RF MEMS 开关，原理图如下：

图1 开关原理图

利用Coventor MEMS+软件对于开关的吸合做瞬态分析，得到结果如下：

图2 开关位移随时间变化关系

仿真显示了初次振动之后金属片后续振荡弯曲的过程。使用MEMS+，还可以将RF MEMS开关耦合至电路模型中做后续分析。

图3 RF MEMS开关置于电路中进行系统级分析