IR辐射仿真：Coventor软件的创新应用与案例分析

分析微热辐射仪需要分析多个物理域。传感器吸收入射辐射导致温度增加，导致结构变形，也导致测温层电阻值的变化。电阻变化通过电流或者电压来检测。可见，微热辐射仪的工作涉及耦合的结构、电、热三个物理域。

采用MemMech求解器的热电结构分析功能，在锚点上施加参考温度300K，在两个锚点上施加不同的电势形成电压差，利用参数化功能在吸收层的上表面施加一系列热通量值。求解计算求得不同热通量下的温度、位移、电流、电阻结果。各个热通量下的温度位移分布。

图1 热通量2128pW/um2温度分布

图2 最高温度曲线

图3 热通量2128pW/um2 Z向位移分布

图4 最小位移曲线

图5 电流曲线

图6 电阻曲线